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基于MEMS的可变形反射镜
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所属分类：
产品参数
特性
- Multi-DM：12 x 12驱动器阵列(140个有效)
- 驱动器最大位移：3.5 μm
- 零磁滞
- 亚纳米级可重复性(平均步长小于1 nm)
- 驱动器间的串扰小(约13%)，所以空间分辨率高
- 可选铝膜或金膜反射镜(见曲线标签)
- 保护窗口带6°楔角并镀有用于400-1100 nm的增透膜
我们很高兴在此提供Multi-DM微机械可变形反射镜系统，为用户提供先进的光学控制能力。为了方便用户安装和设置，每套产品都包括可变形反射镜、驱动器
和控制软件。这些反射镜能够改变波前形状，从而校正高度畸变的入射波前(参考像差类型标签了解DM可校正的像差)。微机电系统(MEMS)可变形反射镜功能多样、
技术成熟，具有高分辨率波前校正能力，所以它们是目前使用最广泛的波前整形技术。
这些多功能DM采用多晶硅表面微加工技术制造，封装外形简单易用，可以提供精密的像差补偿。反射镜由一层薄膜组成，通过140个可单独控制的静电驱动器使薄膜
变形(即12x12驱动器阵列，4个角上的驱动器是无效的)。这些驱动器在小面积内提供3.5 μm行程。此外，包含1020个驱动器的Kilo-DM可通过BMC购买(即32x32驱动器
阵列，4个角上的驱动器是无效的)。Kilo-DM的驱动器提供1.5 μm行程。BMC反射镜使用静电驱动，所以在变形时不会像压电可变形反射镜一样产生磁滞。Multi-DM和Kilo- DM
反射镜可选镀金膜或铝膜。反射镜前使用一个带6°楔角且镀有400-1100 nm范围的增透膜。请参阅曲线标签获取镀膜曲线的信息。虽然可变形反射镜在天文学上的应用是
众所周知的，但它们作为微型精密波前控制器件，也能应用于光束成形、显微学、激光通信和视网膜成像等应用中。
自适应光学
可变形反射镜是构成自适应光学(AO)系统的三种主要组件之一。AO系统可用于校正一束光的波前。DM与波前传感器和控制软件能组成一个闭环系统，能够实时主动地校正相位畸变
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