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等离子体监测控制仪PlasCalc
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产品参数
PlasCalc 等离子体监测控制仪
测量等离子体发射200nm-1100nm，只需3ms
PlasCalc 等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3m就可以获得测量结果。
特点
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光学分辨率1.0nm(FWHM)
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光谱范围 200-1100nm
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快速的建模及存储实验方法
Recipe编辑器
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。
多种工具用于等离子体诊断
随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。
PlasCalc 配置说明
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光谱范围: |
200-1100 nm |
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光学分辨率: |
1.0 nm (FWHM) |
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D/A 转换: |
14 bit |
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数字I/O: |
8 x TTL |
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模拟输出: |
4 x [0-10V] |
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接口: |
USB 1.1 |
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功耗: |
12 VDC @ 1.25 A |
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电源: |
90-240 VAC 50/60 Hz |
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尺寸: |
257 mm x 152 mm x 263 mm |
|
重量: |
5 kg |
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